iXL120 愛德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards描述
Edwards iXL120 是緊湊型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水處理和其他清潔工作應(yīng)用。 它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。
Edwards iXL120 是可用于負載鎖定和清潔應(yīng)用的且輕的泵之一。 其低振動和低噪音級別的使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。 通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低操作成本并幫助保護環(huán)境！
iXL120 愛德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards特性與優(yōu)勢
的艙室抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于程度減少客戶成本
環(huán)保模式可以在空閑期間多減少 92% 的功耗
35 oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
油潤滑的軸承可順暢、低振動的運行，無需例行維護工作。
的雙入口布置可實現(xiàn)高效的前級輸送和位置選件
零氮吹掃選件無需氮氣供給，從而節(jié)省安裝和運行成本
iXL120 愛德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards參數(shù)
| 產(chǎn)品 | iXL120 |
| 峰值速度 | 110 m3h-1 |
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65 cfm |
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1833 lmin-1 |
| 極限壓力（典型） | 0.013 mbar |
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0.009 Torr |
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1.3 Pa |
| 極限功率 | 0.55 kW |
| 環(huán)保模式功率 | 0.045 kW |
| 進氣口連接 |
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| 垂直 | ISO63 |
| 水平 | NW50 |
| 連接 | NW25 |
| 冷卻水接頭 | 可選 |
| 水流量 | 1 lmin-1 |
| 重量 | 59 kg |
iXL120 愛德華半導(dǎo)體真空干泵-Edwards訂購信息
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭，PN：A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭，PN：A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭，PN：A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭，PN：A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥，PN：A5411
iXL 高性能干式真空泵機組
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽能制造市場 涉及的排氣要求。
這些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無須 維護。
適用于半導(dǎo)體和太陽能應(yīng)用的小型 iXL 干泵
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可 快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低?？?用于負載鎖定和清潔應(yīng)用的且輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環(huán)境。
的艙室抽空時間可減少 總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于大程度減少客戶成本
環(huán)保模式可以在空閑 期間多減少 92% 的功耗
高 35oC 的水 供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕， 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于嚴苛應(yīng)用的大型 iXL 干泵
iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗?？捎糜谳p負載應(yīng)用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的且安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率，從而降低成本并幫助保護環(huán)境。
的艙室 抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于大程度減少客戶成本
環(huán)保模式可以在 空閑期間多減少 92% 的功耗
高 35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUP
IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。
IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應(yīng)用。其低振動和低噪聲級的使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間，同時大程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環(huán)境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用， 可提高處理能力，同時減少能耗。
3 萬億次循環(huán) MTBF
與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現(xiàn)有 IPUP? 的 插入式替換部件
