Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。
如需完整安裝，請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子
大的制程靈活性
無油
低振動
高度
免維護
的控制器設(shè)計
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機驅(qū)動
無電池運行
緊湊型設(shè)計
占地面積小
半機架控制器
技術(shù)データ
入口法蘭
ISO100，CF100
KF25
抽速
N2
300 ls-1
H2
300 ls-1
壓縮比
N2
>108
H2
>2 x 104
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭）
6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭）
10-8 Pa (10-10 Torr)
大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）
0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
大連續(xù)壓力（環(huán)境空氣冷卻）
13 Pa (0.1 Torr)
額定速度
48000 rpm
啟動時間
3 min
高入口法蘭溫度
120 °C
輸入電壓
100 至 120 (± 10%) V 交流或
200 至 240 (± 10%) V 交流
啟動時的功耗
0.55 kVA
泵重量
11 kg
控制器重量
7 kg
