港真, 這是一份不容錯過的檢漏儀常用檢漏方法
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根據(jù)檢漏方法的不同,常用的檢漏方法有正壓法和負(fù)壓法。這兩種檢漏方法的主要區(qū)別在于示漏氣體位于被檢容器內(nèi)部還是外部。
正壓法是指示漏氣體沖入容器內(nèi)部,處于正壓,然后用儀器去檢測,容器外圍是否有示漏氣體,如果有則代表容器有漏。用這種方法能檢測出漏點,并能大概判斷出泄露的程度。
(圖一)
圖一中,局部檢漏時,被檢測容器會充入大于1個大氣壓的示漏氣體,當(dāng)腔體某一個部位有漏時,通過吸槍在漏點位置可探測到相應(yīng)的示漏氣體,從而判斷出該位置的泄露程度,這種方法也就是常說的吸槍法。由于局限于吸槍的特點,吸槍氣體的吸入量無法做到很大,因此吸槍法并不能真正檢漏儀的極限。
(圖二)
圖二是利用正壓法檢測被檢器件整體的漏率,因為被檢器件被整體包裹。此時檢測的是被檢器件漏點的總和。這種方法常用于一些內(nèi)部無法或不能抽真空的情形下檢漏。
圖一,圖二所示就分別是正壓法用于局部和整體檢漏。
負(fù)壓法是指示漏氣體噴在容器外面,用儀器去檢測容器內(nèi)部是否有示漏氣體。這種方法也能夠檢測出漏點,并能測知漏率。運用這種方法,在檢測過程設(shè)計合理的話,往往可以得到比較高的精度。因此這也是現(xiàn)今運用多的一種檢測方法。相較于正壓法,負(fù)壓法只能工作于一個大氣壓以下。
如圖三,就是利用負(fù)壓法進行局部檢漏。此時,被檢器件與檢漏儀相連,進行抽真空。待真空穩(wěn)定至一定真空以后,在腔體外部從上至下將示漏氣體噴在器件表面。如果有漏點,那么示漏氣體會通過漏孔進入器件內(nèi)部,進而達到檢漏儀,而被檢測到。它能夠定位漏點位置及漏率的大小。
(圖三)
圖四則是利用負(fù)壓法進行整體漏率的檢測。此時腔體被示漏氣體覆蓋,檢漏儀連接備件器件并抽真空。當(dāng)被檢器件有漏點時,檢漏儀即可檢測到相應(yīng)漏點。
(圖四)
不知大家是否注意到檢漏儀左邊都有額外的真空泵?這是因為往往被抽腔體比較大,而檢漏儀是固定泵組,有時候很難在可接受的時間范圍內(nèi)達到預(yù)定真空,進行檢漏并得到漏率。如圖五所示,額外的泵組可以幫助系統(tǒng)很快達到能夠檢漏的真空度,但是檢漏儀接在哪里比較合適呢?什么位置可以在快的時間得到準(zhǔn)確的漏率?
(圖五)
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關(guān)于Edwards
Edwards是一家全球的真空設(shè)備、尾氣管理系統(tǒng)和相關(guān)增值服務(wù)的商和制造商。Edwards在真空泵的設(shè)計、和制造處于地位,并具有過95年歷史和過75年的制造經(jīng)驗。其產(chǎn)品和服務(wù)在半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能電池的制造流程中不可或缺;亦被應(yīng)用于日益多樣化的工業(yè)生產(chǎn)過程,包括鋰電池、電力、玻璃和其他鍍膜應(yīng)用、鋼鐵和其他冶金工業(yè)、制藥和化學(xué)工業(yè),并用于科學(xué)儀器和多種應(yīng)用。